بخشی از مقدمه:
امروزه ارقام حاصل از اندازه گیری به عناوین مختلف و بیشتر از گذشته مورد استفاده قرار می گیرد . بنابراین کیفیت ارقام حاصله از اندازه گیری بطور مستقیم به اندازه گیری هایی بستگی دارد که از سیستم های اندازه گیری ( ابزار دقیق ) گرفته می شود . اندازه گیری فرایند مقایسه ای یک کمیت بین یک استاندارد تعریف شده و یک مقدار مجهول می باشد . در عصر شتاب در پیشرفت علمی ، استاندارد خدمات ، تولید و گسترش روشهای تولید ، روشهای اندازه گیری نیز گسترش در خور توجهی نموده اند . روش های اندازه گیری سه بعدی یکی از مهمترین روش های اندازه گیری می باشند . دستگاه های اندازه گیری مختصات (CMM) برای اندازه گیری سه بعدی قطعات و یا هر چیزی که اندازه های آن با پارامترهایی مانند توازی ، تعامد ، زاویه ، ابعاد و ... در آن باید بصورت سه بعدی اندازه گیری شوند در صنایع مختلفی نظیر خودرو سازی ، ماشین سازی، هوا فضا و مخصوصا علم نوین نانو کاربرد وسیعی دارند . در این مقاله سعی بر این است که درک صحیحی از عملکرد ، تاریخچه ، بخش های مختلف یک سی.ام.ام ، شرایط محیطی و کالیبراسیون یک دستگاه سی.ام.ام و اصول استفاده از آنها در مقیاس نانو ارائه گردد .